Tianjin, China      +86 02259781212

        2017年11月16日至21日,以“聚焦创新驱动 提升供给质量”为主题的第十九届中国国际高新技术成果交易会(简称“高交会”)在深圳举行。清华大学亮相高交会,其中清华控股展示了多年来致力于科技成果转化、坚持科技创新和科技服务的丰硕成果,华海清科抛光机项目亮相高交会。


        全国政协副主席、科技部部长、中国科协主席万钢,中国工程院院长周济莅临清华大学、清华控股展区参观指导。清华大学副校长尤政,清华大学副秘书长、深圳清华大学研究院院长嵇世山,清华控股副总裁赵燕来陪同视察,介绍了清华控股科技成果产业化进展,以及华海清科化学机械抛光机、华清燃气轮机两个项目。

        在国庆期间坚守岗位是对祖国最长情的告白。2017年10月8日,华海清科首台国产CMP(化学机械抛光)工艺设备Universal-300 Plus在客户端量产突破10000片,以一丝不苟的工匠精神向祖国献礼。
 
       自2017年2月24日首台国产CMP工艺设备正式进入中芯国际北京厂开始,华海清科与中芯国际团队密切配合,迅速完成设备安装、调试、硬件马拉松测试、设备最优工艺参数测试、工艺马拉松测试、多种工艺制程(IMD/ILD/STI)验证等一系列工作,并进入正式产品量产。在短短78天内,华海清科实现了首台国产CMP工艺设备产品过百片的阶段性目标;6月20日,华海清科凭借首台国产CMP工艺设备的突出表现,被中芯国际授予“突出成就奖”;8月21日,首台国产CMP工艺设备在客户端量产突破1000片。客户端量产数从1000到破万,只用了不到50天。
 
        华海清科Universal-300 Plus不断取得新成果,与公司全体员工的不懈努力,尤其是奋战在客户端一线的员工勤恳踏实的工作密不可分,他们精益求精、夜以继日,使得设备安全可靠、保质保量地生产。今后,华海清科还将再接再厉、再创佳绩,为中国极大规模集成电路制造做出积极的贡献。

 

        8月21日,从中芯国际(北京)传来振奋人心的喜讯,华海清科首台CMP工艺设备Universal-300 Plus在中芯国际客户端完成量产超过1000片的目标!!


        自2017年2月24日华海清科的首台CMP工艺设备正式进入中芯国际北京厂开始,在中芯国际和华海清科团队密切配合下,迅速完成了设备安装、调试、硬件马拉松测试、设备最优工艺参数测试、工艺马拉松测试、多种工艺制程(IMD/ILD/STI)验证等一系列工作,并开始进入正式产品量产,于日前完成量产突破1000片的骄人业绩。


        Universal-300 Plus能不断取得突破,与公司全体员工的辛勤努力以及中芯客户对我们一如既往地支持是密不可分的!我们将再接再厉、再创佳绩,为中国极大规模集成电路制造做出我们的贡献!