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《人民日报》(2015年8月5日 10版)
《人民日报》(2015年8月5日 10版)
        (人民网北京8月4日电)集成电路领域的高端装备国产化进程又进一步。记者今天从清华控股有限公司获悉,由清华大学科技成果成功转化的国内首台12英寸化学机械抛光机近日交付使用。
 
        化学机械抛光是通过使用化学腐蚀和机械作用对加工过程中的晶圆进行平坦化处理,以便获得纳米级别的平整表面,是集成电路制造工艺中的五大关键技术之一。在国家科技重大专项“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”的支持下,清华大学研制出了国内首台12英寸“干进干出”铜制程抛光机,主要技术指标达到或者超过国外最先进产品的水平。
 
        清华控股成员企业天津华海清科机电科技有限公司接受清华大学的技术转让,拥有了化学机械抛光的核心技术,在国内率先具备研发和生产12英寸前段和后段抛光整机设备的能力。近日,华海清科首台12英寸化学机械抛光机交付中芯国际,标志着国内12英寸化学机械抛光机已进入大型生产线。
 

        2015年8月2日,天津华海清科机电科技有限公司首台12寸CMP设备交付中芯国际剪彩仪式在公司生产车间隆重举行。参加剪彩仪式的领导和嘉宾有公司董事长、清华大学教授路新春、中国科学院院士、清华大学教授雒建斌、清华控股总裁助理赵燕来、天津市科委总工李彭越、津南区副区长吴爱民、咸水沽镇书记葛义发。此外,参加仪式的嘉宾还有天津市科委处长刘惠忠、天津市工信科技处处长王德庆、天津市发改委高新处副处长张楷亮及其他市、区各级领导。剪彩仪式由公司常务副总经理李昆主持。


        在市、区领导的关怀和指导下,在华海清科全体员工的共同努力下,我公司第一台12英寸化学机械抛光机即将交付至中芯国际。这是中国国内首台12英寸化学机械抛光机进入大型生产线,这不仅是华海清科的骄傲,更是高端装备国产化的一个里程碑,它为今后华海清科走向市场化的大舞台奠定了坚实的基础。


        在剪彩仪式上,各位来访的领导嘉宾纷纷发表了重要讲话,这使得我们深受鼓舞。我们一定不会辜负各级领导的希望,坚持自主创新、不断开拓进取,倾力走国际化、专业化、科技化的发展道路。此外,我们希望借助国内集成电路市场发展的大好前景,能够继续与各界保持更加密切的合作,凝心聚力、共创盛举。最后,我们始终不渝的坚信,在董事长路新春的带领下,在全体员工的不断努力下,华海清科一定能够在不远的将来取得更加辉煌的成就。

 

        2015年7月23日,由俄罗斯Sistema公司第一副总裁叶夫图申科夫 费利克斯(Евтушенков Феликс)带队一行来到天津华海清科机电科技有限公司进行访问。同行的还有财团执行副总裁丁灏敏、财团项目经理莫尔倩诺娃 安娜、分公司副总裁叶戈罗夫 谢尔盖。公司董事长、清华大学教授路新春等领导接待了客人一行。


        客人一行在董事长路新春的带领下参观了公司自主研发的CMP各型机台及检测设备,观摩了机台现场的情况,听取了设备的有关介绍。随后常务副总李昆向客人介绍了的公司的整体运营情况。在此期间,客人与公司领导进行了坦诚而友好的交流。


        俄罗斯Sistema公司成立于1993年,总部位于俄罗斯,共有员工90000名。是最大的公共多元化的金融公司,管理公司为 100多万客户提供在电信行业、高新技术、石油和能源、无线电和航空航天、银行、零售、大众媒体、旅游、医疗保健的服务。